|
热板烘培工艺专用充氮烘箱，可程式温控器，操作便捷！
SOG工艺流程：旋涂→热板烘培→退火。热板烘培一般分三种，目的是初步的把SOG里的溶剂蒸除开始让SOG里的si-o键进行键结，一般用三块热板，每块热板的温度分别为80度，150度，250度。
一、无氧化烘箱特点：
无氧化烘箱，在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。
二．产品技术参数
1.SOG工艺无氧化烘箱型号： QMO-350
2、SOG工艺无氧化烘箱主要技术指标：
2.1含氧量：< 50ppm，30ppm, 20ppm;
2.2温度范围： RT（室温）+60～ +300℃；
2.3温度均匀度：±1.5%;
2.4温度波动度：±0.5℃（空载）
2.5温控精度：±0.1℃;
2.6烘箱搁板为活动形式。
2.7工作尺寸：W700×H700×D700mm
外形尺寸：W1300×H1500×D900mm
2.8电源：380V 3φ 50HZ 7KW
3、SOG工艺无氧烘箱箱体结构：
3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；
3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
3.3箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；
产品目录：全部 未分类 烘箱，烤箱，干燥机 工业烘箱 时效炉
| 
