捕集泵
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北京,北京市,昌平区
-145℃ Water vapor cryopump(Polycold)
水汽捕集泵 又称：POLYCOLD、快速循环水汽深冷泵
水汽捕集泵型号及技术参数
型 号 TH-145-3P TH-145-5P TH-145-7P TH-145-10P TH-145-12P TH-145-15P
压缩机功率(KW) 2.8 4.6 6.3 8.5 10.1 12.3
工作温度（℃） -120℃至-150℃
抽气速度（l/s） 30600 51000 73,000 101,000 153,000 250,000
制冷量（W） 300 500 1200 1800 2500 3500
冷凝管表面积(m2) 0.15 0.3 0.5 0.7 1.2 2. 0
冷凝管长度 8m,φ6mm 10m,φ10mm 12m,φ12mm 14m,φ16mm 24m,φ16mm 40m,φ16mm
预冷时间（min） ≤30 ≤30 ≤30 ≤30 ≤40 ≤40
降温时间（min） ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤4 ≤5
除霜时间(min)
≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3
再降温时间(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤6
适用油扩散泵径（mm） ≤300 ≤500 ≤800 ≤1000 双路输出 双路输出
冷却方式 风冷、水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃)
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