MEMS干燥系统

未来化学科技有限公司供应进口的超临界CO2干燥仪/临界点干燥仪/MEMS干燥系统，用于微电子机械系统(MEMS)的干燥，可同时处理多个样品(晶圆)，**大尺寸可达8" (8英吋)，样品处理时间小于一小时。

超临界CO2干燥仪，用于先进的集成电路和微电子机械系统(MEMS)。使用液体和超临界二氧化碳高效干燥/清洗微电子机械系统晶圆。利用CO2在超临界点附近无表面张力的特性，解决了MEMS生产中产生的静摩擦，可避免污染晶圆上的微粒。分离器可收集干燥过程流出的溶剂。

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